一种基板定位装置
授权
摘要
本实用新型公开了一种基板定位装置，属于太阳能电池组件生产技术领域，其包括位置调整组件、气浮吸附组件和视觉定位组件，气浮吸附组件包括定位板，用于待定位基板的承载；定位板上开设有若干气孔，用于对定位板上的基板吹气或者吸气，以实现基板在定位板上的气浮或者吸附，再利用位置调整组件与视觉定位组件的配合，能有效实现基板吸附状态下的XYθ精调，进而准确实现基板的定位。本实用新型的基板定位装置，其结构简单，设置简便，保证基板定位精度的同时，能充分避免因基板边缘翘曲所引入的定位误差。
基本信息
专利标题 ：
一种基板定位装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202122199578.2
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2021-09-10
授权号 ：
CN216161754U
授权日 ：
2022-04-01
发明人 ：
胡军唐梦飞戴全张鹏李远鹏徐贵阳
申请人 ：
武汉帝尔激光科技股份有限公司
申请人地址 ：
湖北省武汉市东湖新技术开发区华师园二路5号武汉高科国有控股集团有限公司光存储园三号厂房
代理机构 ：
武汉东喻专利代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
李佑宏
优先权 ：
CN202122199578.2
主分类号 ：
H01L31/18
IPC分类号 ：
H01L31/18 H01L21/68 H01L21/683
法律状态
2022-04-01 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
暂无PDF文件可下载
