一种定位装置及其定位方法、基板加工设备
授权
摘要

本发明涉及一种定位装置,所述定位装置包括:托盘,用于承载待定位件,所述待定位件上设有定位标记;取料组件,用于从所述托盘中取出所述待定位件;第一图像传感组件,用于获取所述定位标记的当前位置信息;驱动组件,与所述取料组件连接,以根据所述当前位置信息与标准位置信息的差异驱动所述取料组件运动,进而使得所述待定位件呈与所述标准位置信息相对应的标准姿态;第二图像传感组件,用于在所述待定位件呈所述标准姿态时获取所述定位标记的位置信息。本发明实施例提供的一种定位装置能够为无基板的材料提供定位,不会造成材料的刮伤和折曲,降低宕机率,提高生产效率。

基本信息
专利标题 :
一种定位装置及其定位方法、基板加工设备
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN111854600A
申请号 :
CN201910358291.4
公开(公告)日 :
2020-10-30
申请日 :
2019-04-28
授权号 :
CN111854600B
授权日 :
2022-04-12
发明人 :
阳凯迟彦龙唐国平王祥何云尹建刚高云峰
申请人 :
大族激光科技产业集团股份有限公司
申请人地址 :
广东省深圳市南山区高新科技园北区新西路9号
代理机构 :
深圳市世联合知识产权代理有限公司
代理人 :
刘华松
优先权 :
CN201910358291.4
主分类号 :
G01B11/00
IPC分类号 :
G01B11/00  
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量;测试
G01B
长度、厚度或类似线性尺寸的计量;角度的计量;面积的计量;不规则的表面或轮廓的计量
G01B11/00
以采用光学方法为特征的计量设备
法律状态
2022-04-12 :
授权
2020-11-17 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : G01B 11/00
申请日 : 20190428
2020-10-30 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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