一种捡晶机载盘载台定位机构
授权
摘要
本实用新型公开了半导体制造领域内的一种捡晶机载盘载台定位机构，包括载盘载台，所述载盘载台呈矩形，载盘载台上设有至少一组定位组件，每组定位组件包括轴线相平行的第一固定定位头、第二固定定位头和旋转调节定位头，第一固定定位头和旋转调节定位头的侧面与矩形tray盘的前侧相接触，所述第二固定定位头与tray盘的右侧相接触，所述第一固定定位头和第二固定定位头均呈圆柱状，载盘载台上开设有安装孔，旋转调节定位头包括竖直的旋转轴，旋转轴的下端套设有轴承，旋转轴的轴身上套设有偏心套，偏心套与旋转轴的轴线相错开设置，所述偏心套外周与安装孔内壁之间留有间隙。本实用新型能够提升设备自身精度，提高IC产品的品质。
基本信息
专利标题 ：
一种捡晶机载盘载台定位机构
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201920914278.8
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-06-18
授权号 ：
CN209766377U
授权日 ：
2019-12-10
发明人 ：
丁培杰陈志远聂伟曹文文陈广顺
申请人 ：
江苏汇成光电有限公司
申请人地址 ：
江苏省扬州市邗江区高新技术产业开发区金荣路19号
代理机构 ：
南京苏科专利代理有限责任公司
代理人 ：
王峰
优先权 ：
CN201920914278.8
主分类号 ：
H01L21/67
IPC分类号 ：
H01L21/67 H01L21/68
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/67
专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
法律状态
2019-12-10 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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