一种基于石墨烯模板上AlGaN纳米柱基MSM型紫外探测器
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摘要
本实用新型公开了一种基于石墨烯模板上AlGaN纳米柱基MSM型紫外探测器。所述紫外探测器包括由下至上的衬底、石墨烯模板层、AlGaN纳米柱、与AlGaN纳米柱间形成肖特基接触的Ni第一金属层和Au第二金属层，还包括填充AlGaN纳米柱中的Si3N4绝缘层，且Ni第一金属层和Au第二金属层作为电极材料组成叉指电极。本实用新型的紫外探测器对UVA‑C紫外光具有十分高的灵敏探测，可应用于紫外导弹制导、明火探测和太阳照度检测等领域，经济效益可观。
基本信息
专利标题 ：
一种基于石墨烯模板上AlGaN纳米柱基MSM型紫外探测器
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201920930316.9
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-06-20
授权号 ：
CN210092100U
授权日 ：
2020-02-18
发明人 ：
李国强郑昱林王文樑粱敬晗
申请人 ：
华南理工大学
申请人地址 ：
广东省广州市天河区五山路381号
代理机构 ：
广州粤高专利商标代理有限公司
代理人 ：
何淑珍
优先权 ：
CN201920930316.9
主分类号 ：
H01L31/0304
IPC分类号 ：
H01L31/0304 H01L31/0352 H01L31/108 H01L31/18
法律状态
2020-02-18 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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