一种回音壁式的堆叠晶体滤波器
授权
摘要
本实用新型公开了一种回音壁式的堆叠晶体滤波器，包括：输入电极；输出电极，所述输出电极与所述输入电极成匹配设计；压电层，所述压电层位于所述输入电极和所述输出电极的下方；底电极，所述底电极包括位于所述压电层下面的底部和垂直贯穿所述压电层的侧部，所述底部与所述侧部形成如回音壁式的包围结构；硅衬底，所述硅衬底位于所述底电极底部下方；以及空气腔，所述空气腔位于所述硅衬底的底部。
基本信息
专利标题 ：
一种回音壁式的堆叠晶体滤波器
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201920967171.X
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-06-26
授权号 ：
CN210041771U
授权日 ：
2020-02-07
发明人 ：
申洪霞欧文曹立强
申请人 ：
上海先方半导体有限公司
申请人地址 ：
上海市浦东新区自由贸易试验区创新西路778号
代理机构 ：
上海智晟知识产权代理事务所(特殊普通合伙)
代理人 ：
张东梅
优先权 ：
CN201920967171.X
主分类号 ：
H03H9/02
IPC分类号 ：
H03H9/02 H03H9/56 H03H9/58
法律状态
2020-02-07 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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