多功能晶圆剪切力测试机
授权
摘要
本实用新型公开了多功能晶圆剪切力测试机,涉及微电子测试装置领域。包括底座、支持座,以及设置于底座和支持座之间的支撑桩,还包括测试臂、观察仪、位移平台、显示屏、射灯,以及设置于测试机内部的数据处理模块;所述底座上设置有支撑杆,所述支撑杆上套设滑动环,滑动环上水平设置支持板,所述支持板的一端设置观察仪,另一端设置显示屏,所述显示屏通过旋转机构与支持板连接;所述底座上还设置有位移平台,位移平台上设置有位移机构,所述位移机构的底端设有滑动脚,滑动脚与位移平台之间滑动卡箍连接,所述位移机构的顶端还包括放置平台;所述支撑桩内设有液压升降机构,支撑桩侧壁上设置有通过金属软管固定连接的射灯。
基本信息
专利标题 :
多功能晶圆剪切力测试机
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN201920969650.5
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2019-06-26
授权号 :
CN210166211U
授权日 :
2020-03-20
发明人 :
蒋次为
申请人 :
成都汉芯国科集成技术有限公司
申请人地址 :
四川省成都市高新区(西区)合作路89号
代理机构 :
成都弘毅天承知识产权代理有限公司
代理人 :
梁伟东
优先权 :
CN201920969650.5
主分类号 :
G01N3/02
IPC分类号 :
G01N3/02 G01N3/06 G01N3/08 G01N3/24
相关图片
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量;测试
G01N
借助于测定材料的化学或物理性质来测试或分析材料
G01N3/00
用机械应力测试固体材料的强度特性
G01N3/02
零部件
法律状态
2020-03-20 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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