一种扩散炉设备保护隔板
专利申请权、专利权的转移
摘要
本实用新型公开了一种扩散炉设备保护隔板,所述碳化硅桨下方设置有隔板,所述隔板固定连接于炉侧壁上,且隔板远离炉侧壁一侧固定连接有侧挡板,所述隔板下方固定连接有支撑杆,所述支撑杆与固定杆固定连接,所述固定杆与炉侧壁固定连接,所述隔板靠近碳化硅桨一侧开设有凹槽,所述凹槽中依次活动设置有上层板和下层板。本实用新型解决了现有扩散炉设备中石英舟倾倒摔舟、上方石英舟中的硅片碎片容易掉落至下方石英舟上,导致下方石英舟中硅片被批量砸碎、浆断裂掉到下方砸碎下方浆及石英舟和硅片,从而影响产线产能和财产损失导致车间成本的问题,有效的避免影响车间产能和财产损失导致的成本上升。
基本信息
专利标题 :
一种扩散炉设备保护隔板
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN201920981393.7
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2019-06-27
授权号 :
CN209708958U
授权日 :
2019-11-29
发明人 :
张欢徐硕苏世杰陈绍光蔡芬
申请人 :
通威太阳能(合肥)有限公司
申请人地址 :
安徽省合肥市高新区长宁大道888号
代理机构 :
昆明合众智信知识产权事务所
代理人 :
叶春娜
优先权 :
CN201920981393.7
主分类号 :
H01L21/67
IPC分类号 :
H01L21/67 H01L21/22
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/67
专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
法律状态
2022-05-27 :
专利申请权、专利权的转移
专利权的转移IPC(主分类) : H01L 21/67
登记生效日 : 20220516
变更事项 : 专利权人
变更前权利人 : 通威太阳能(合肥)有限公司
变更后权利人 : 通威太阳能(安徽)有限公司
变更事项 : 地址
变更前权利人 : 230088 安徽省合肥市高新区长宁大道888号
变更后权利人 : 230088 安徽省合肥市高新区长宁大道与习友路交口西南角
登记生效日 : 20220516
变更事项 : 专利权人
变更前权利人 : 通威太阳能(合肥)有限公司
变更后权利人 : 通威太阳能(安徽)有限公司
变更事项 : 地址
变更前权利人 : 230088 安徽省合肥市高新区长宁大道888号
变更后权利人 : 230088 安徽省合肥市高新区长宁大道与习友路交口西南角
2019-11-29 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
CN209708958U.PDF
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