氢氟酸蚀刻制程废酸回收检测装置

授权

摘要

本实用新型公开的氢氟酸蚀刻制程废酸回收检测装置，包括回收存储箱，所述回收存储箱的一侧外表面固定安装有进入接头，所述回收存储箱的另一侧外表面固定安装有排出接头，所述回收存储箱的上表面固定安装有存储箱顶盖，所述存储箱顶盖的上表面一侧位置固定安装有驱动马达，所述存储箱顶盖的上表另一侧位置活动安装有密封门，所述回收存储箱的内表面转动安装有转动杆，所述转动杆的外表面设置有搅拌扇叶。本实用新型所述的氢氟酸蚀刻制程废酸回收检测装置，可对回收的废液进行搅拌，防止废液的沉淀导致分层，利于废液的再次利用和排出，能够在收集废液时，对废液中的杂质进行隔离过滤，防止废液中的杂质过多。

基本信息

专利标题：

氢氟酸蚀刻制程废酸回收检测装置

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN201921031744.4

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2019-07-03

授权号：

CN210166373U

授权日：

2020-03-20

发明人：

王明王晶沈飞

申请人：

无锡东风新能源科技有限公司

申请人地址：

江苏省无锡市鹅湖镇甘露群联村

代理机构：

无锡华源专利商标事务所(普通合伙)

代理人：

冯智文

优先权：

CN201921031744.4

主分类号：

G01N33/00

IPC分类号：

G01N33/00 C01B7/19 B01F7/24 B01D29/01