立式湿制程蚀刻机
授权
摘要
本实用新型提供一种立式湿制程蚀刻机,其包含一外壳、一输送装置及一喷射管路;外壳内形成一工作空间;输送装置包含设置在工作空间内的一水平轨道以及设置在水平轨道上的至少一夹具,且夹具能够沿水平轨道平移;喷射管路设置在工作空间内,喷射管路上设置朝向水平轨道配置的数个喷嘴,该些喷嘴间隔排列在对应水平轨道二端之间的区域,且该些喷嘴分别配置在不同的高度位置;借此能够对一电路板均匀喷洒蚀刻液。
基本信息
专利标题 :
立式湿制程蚀刻机
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN201921670716.7
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2019-10-08
授权号 :
CN210725530U
授权日 :
2020-06-09
发明人 :
吕理榕巫坤星杨延鸿锺添达
申请人 :
扬博科技股份有限公司
申请人地址 :
中国台湾台北市信义区松德路171号17楼
代理机构 :
北京汇泽知识产权代理有限公司
代理人 :
李岩
优先权 :
CN201921670716.7
主分类号 :
H05K3/06
IPC分类号 :
H05K3/06
法律状态
2020-06-09 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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