本实用新型涉及半导体抛光技术领域，提供一种抛光装置，包括机架和升降板，所述机架上设有两根平行的丝杠和两个平行的导轨，两根所述丝杠和两个所述导轨均与所述升降板所在平面垂直，所述升降板的相对两侧分别与两个所述丝杠连接，所述升降板的另相对两侧分别与两个所述导轨连接，所述升降板上设有抛光件。通过在机架上设置两根丝杠和两个导轨，丝杠为升降板提供升降作用，导轨为升降板提供支撑导向作用，提高抛光件的承载强度和升降的安全性、平稳性，实现抛光件可高速旋转状态下的平稳，提高抛光效率，缩短工艺时间，提高抛光质量和产能。