本实用新型公开了一种晶片抛光装置，包括：活动臂，所述活动臂内限定出旋转空间；回转台，所述回转台上设有抛光垫；驱动机构，所述驱动机构竖直设在所述旋转空间内；抛光头，所述抛光头设在所述驱动机构与所述回转台之间，所述抛光头的一端与所述驱动机构相连，所述驱动机构驱使所述抛光头转动，并且所述抛光头设置成使所述抛光头最高点的纵截面轮廓线的曲率中心不高于所述回转台的上表面。采用该抛光装置在对晶片抛光过程中不会出现抛光头跳动的问题，同时由于不采用变速箱，从而避免了变速箱卡死和漏油现象，进而在保证抛光质量的同时提高抛光效率。