本实用新型公开了一种碳化硅晶片的抛光装置，包括圆柱形固定框，所述圆柱形固定框外壁一侧开设有开口，且开口内壁铰接有弧形门板，所述圆柱形固定框底部外壁固定有底座，且底座顶部外壁轴心处固定有固定管，所述固定管顶部外壁固定有吸盘且固定管内部设置有真空泵，所述吸盘底部内壁轴心处开设有圆孔，且圆孔内壁套接有吸气管，所述圆柱形固定框顶部内壁两侧均固定有第一电动伸缩杆，且两个电动伸缩杆的活塞端均焊接有同一个安置框。本实用新型第一电动伸缩杆下降，碳化硅晶片进入圆盘内部，打磨环对碳化硅晶片进行打磨抛光，实现自动抛光的效果，海绵刷与碳化硅晶片做滑动配合，对碳化硅晶片进行清洁，关闭弧形门板可实现隔尘的效果。