一种碳化硅晶片抛光用的固定装置
专利权的终止
摘要
本实用新型公开了一种碳化硅晶片抛光用的固定装置,包括工作台,所述工作台的两侧内壁通过螺栓固定有同一个隔板,且隔板顶部外壁的两侧均通过螺栓固定有电动伸缩杆,所述工作台顶部外壁开设有安装槽,且安装槽的内壁通过螺栓固定有顶部带有开口的抛光箱,所述抛光箱底部外壁的两侧均开设有通孔,两个所述电动伸缩杆的输出轴分别穿过两个通孔内壁,且两个所述电动伸缩杆输出轴通过螺栓固定有同一个安装板,所述抛光箱的两侧内壁通过轴承固定有同一个固定机构。本实用新型通过固定机构中电动滑轨带动夹紧板来夹紧晶片,抵紧板在晶片底部抵紧晶片,避免晶片在打磨过程中发生位移,解决了现有的碳化硅晶片在抛光过程中容易晃动的问题。
基本信息
专利标题 :
一种碳化硅晶片抛光用的固定装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN201920990419.4
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2019-06-28
授权号 :
CN210060737U
授权日 :
2020-02-14
发明人 :
王静辉曾昊崔素杭张乾李帅
申请人 :
同辉电子科技股份有限公司
申请人地址 :
河北省石家庄市鹿泉区高新技术开发区昌盛大街21号
代理机构 :
石家庄元汇专利代理事务所(特殊普通合伙)
代理人 :
周大伟
优先权 :
CN201920990419.4
主分类号 :
B24B29/02
IPC分类号 :
B24B29/02 B24B41/06 B24B27/00 B24B49/16 B24B41/00
IPC结构图谱
B
B部——作业;运输
B24
磨削;抛光
B24B
用于磨削或抛光的机床、装置或工艺(用电蚀入B23H;磨料或有关喷射入B24C;电解浸蚀或电解抛光入C25F3/00;磨具磨损表面的修理或调节;磨削,抛光剂或研磨剂的进给
B24B29/00
有或没有使用固体或液体抛光剂并利用柔软材料或挠性材料制作的工具进行工件表面抛光的机床或装置
B24B29/02
适用于特殊工件的
法律状态
2021-06-04 :
专利权的终止
未缴年费专利权终止IPC(主分类) : B24B 29/02
申请日 : 20190628
授权公告日 : 20200214
终止日期 : 20200628
申请日 : 20190628
授权公告日 : 20200214
终止日期 : 20200628
2020-02-14 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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