一种晶片抛光用抛光垫

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摘要

本实用新型公开了一种晶片抛光用抛光垫，涉及抛光垫技术领域，包括抛光盘，所述抛光盘的上表面固定连接有大凸起块，所述抛光盘的上表面固定连接有圆周阵列的小凸起块，所述抛光盘的底面设有固定板，所述固定板的上表面固定连接有环氧树脂薄板，所述环氧树脂薄板的上表面粘接有粘结胶板，所述粘结胶板的上表面与抛光盘的底面相粘接，所述固定板的上表面固定连接有魔术贴母面。本实用新型设计结构合理，它能够使抛光盘的粘接更加牢固，使抛光盘长时间使用后也能够具有稳定性，从而取代了普通的粘接方式，提高了抛光盘的使用寿命，使抛光盘起到了限位效果，使抛光盘在转动时能够更加的稳定，从而有效的防止抛光盘出现断裂脱落现象。

基本信息

专利标题：

一种晶片抛光用抛光垫

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN202021489881.5

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2020-07-25

授权号：

CN212794604U

授权日：

2021-03-26

发明人：

宋献礼

申请人：

拓高工贸（苏州）有限公司

申请人地址：

江苏省苏州市工业园区唯亭方泾路2号

代理机构：

代理人：

优先权：

CN202021489881.5

主分类号：

B24D13/14

IPC分类号：

B24D13/14 B24D13/20