本实用新型涉及机械设备的技术领域，特别是涉及一种用于碳化硅晶片的抛光装置，其不仅节省了大量的人工与时间，也提高了工作效率与抛光的效果，降低其局限性；还包括工作板、支架、转动盘、第一转轴、两组稳定座、内齿环、第一电机、第二转轴、齿轮、放料板、支撑板、顶板、两组固定块、第二电机、导轨、第一滑块、螺杆、两组螺套、两组连接杆、连接板、第三电机、第三转轴和打磨盘，工作板底端与支架顶端连接，连接板安装在两组连接杆底端，连接板底端设置有液压装置，液压装置底端设置有四组检测装置，第三电机安装在检测装置底端，第三电机输出端与第三转轴顶端连接，打磨盘安装在第三转轴底端。