一种碳化硅晶片抛光工艺转运用装置
授权
摘要
本实用新型涉及一种碳化硅晶片抛光工艺转运用装置，包括推车框架、用于盛放陶瓷盘的多个陶瓷盘架、万向滚轮和直行滚轮，万向滚轮和直行滚轮分别转动连接于推车框架的底部两侧，多个陶瓷盘架沿推车框架的高度依次安装于推车框架的内部，多个陶瓷盘架与水平面成成夹角θ倾斜设置，夹角θ的角度为10‑20度。本实用新型的碳化硅晶片抛光工艺转运用装置，可以高效稳定的对各工序陶瓷盘进行转运，也可以用于临时存放陶瓷盘，操作方便，能有效保证生产效率和产品质量。
基本信息
专利标题 ：
一种碳化硅晶片抛光工艺转运用装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201921914353.7
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-11-06
授权号 ：
CN212332677U
授权日 ：
2021-01-12
发明人 ：
徐良曹力力蓝文安朱卫祥夏建白李京波
申请人 ：
浙江博蓝特半导体科技股份有限公司
申请人地址 ：
浙江省金华市南二环西路2688号
代理机构 ：
北京辰权知识产权代理有限公司
代理人 ：
董李欣
优先权 ：
CN201921914353.7
主分类号 ：
B62B3/00
IPC分类号 ：
B62B3/00 B62B5/00 B62B5/06
相关图片
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B62
无轨陆用车辆
B62B
手动车辆，例如手推车或摇篮车；雪橇
B62B3/00
有一个以上带运输轮的车轴的手推车；其所用转向装置；所用设备
法律状态
2021-01-12 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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