一种碳化硅晶片抛光的废屑清理装置

专利权的终止

摘要

本实用新型公开了一种碳化硅晶片抛光的废屑清理装置，包括工作台，所述工作台的两侧内壁通过螺栓固定有隔板，所述工作台底部内壁设置有收集箱，所述收集箱的一侧外壁开设有通风口，且通风口的内壁通过螺栓固定有过滤网，所述工作台顶部外壁开设有安装槽，且安装槽的内壁通过螺栓固定有顶部带开口的抛光箱，所述抛光箱底部外壁开设有排尘口，且排尘口的内壁套接有收集管，所述收集管的一端连接在收集箱上。本实用新型通过在相对密封的抛光箱中进行抛光，避免抛光时废屑飞溅难以收集，又通过收集管中的风扇将抛光时的废屑吸入收集箱中，方便废屑的收集，解决了现有的抛光装置没有设置废屑清理装置的问题。

基本信息

专利标题：

一种碳化硅晶片抛光的废屑清理装置

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN201920990355.8

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2019-06-28

授权号：

CN210060811U

授权日：

2020-02-14

发明人：

李帅申硕白欣娇李怀水李文广

申请人：

同辉电子科技股份有限公司

申请人地址：

河北省石家庄市鹿泉区高新技术开发区昌盛大街21号

代理机构：

石家庄元汇专利代理事务所(特殊普通合伙)

代理人：

周大伟

优先权：

CN201920990355.8

主分类号：

B24B55/06

IPC分类号：

B24B55/06 B24B27/00 B24B7/22 B24B29/02