本实用新型涉及碳化硅晶片技术领域，具体为一种用于碳化硅晶片的抛光装置，包括机体，还包括承托机构、固定机构、全面抛光机构和导向机构，所述承托机构固定安装在机体顶部两侧，本实用新型通过设置有全面抛光机构和导向机构，推动抛光头使抛光头带动抛光头两侧的活动钩与活动块两侧相接触，持续推动使活动钩两侧向内折叠，直至通过活动块，活动钩再进行回弹，从而使活动块与活动钩固定连接，从而使抛光头固定安装在转轴底部，可以更加便捷快速的对抛光头进行更换，以便于适应不同的抛光要求，再打开第二电动推杆使第二电动推杆带动延长板延伸至晶片的边缘处，可以更加便捷的对装置的抛光范围进行调节，使装置的可以对晶片的各个位置进行抛光。