倾斜运输托盘的镀膜设备
授权
摘要
本实用新型公开了倾斜运输托盘的镀膜设备，包括：用于放置基板的托盘和运送托盘的传输轨道，传输轨道具有倾斜运输段，倾斜运输段设置有至少一个镀膜装置；倾斜运输段运送托盘时，托盘与水平面存在夹角θt，镀膜装置的给托盘中的基板投射镀膜。本实用新型能简易实现基板的双面镀膜，镀膜效率高且基板的生产品质好。
基本信息
专利标题 ：
倾斜运输托盘的镀膜设备
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201921035790.1
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-07-04
授权号 ：
CN210420148U
授权日 ：
2020-04-28
发明人 ：
卢贤政陈厚模陈麒麟
申请人 ：
深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司
申请人地址 ：
广东省深圳市坪山区龙田街道竹坑社区金牛东路62号
代理机构 ：
深圳市康弘知识产权代理有限公司
代理人 ：
吴敏
优先权 ：
CN201921035790.1
主分类号 ：
C23C14/56
IPC分类号 ：
C23C14/56
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/22
以镀覆工艺为特征的
C23C14/56
连续镀覆的专用设备；维持真空的装置，例如真空锁定器
法律状态
2020-04-28 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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