一种便于半导体制程尾气处理设备中洗涤塔焊接的工装
授权
摘要
本实用新型公开了一种便于半导体制程尾气处理设备中洗涤塔焊接的工装，包括下焊接件和上焊接件，所述下焊件的下端内表面活动连接有定位盘一，所述定位盘一顶部中间位置螺纹连接有第一定位轴，所述第一螺纹孔内表面螺纹连接有第二定位轴，所述第二定位轴外表面位于下焊接件右端的位置螺纹连接有定位盘二，所述第一定位轴顶端螺纹连接有第三定位轴，所述第一定位轴与第三定位轴在一条轴线上，所述第一定位轴的轴线与第二定位轴的轴线相互垂直，所述定位盘一与第一定位轴相互垂直；本实用新型通过设有的定位盘一、定位盘二和定位盘三配合第一定位轴、第二定位轴、第三定位轴，可以有效的解决背景技术中的问题。
基本信息
专利标题 ：
一种便于半导体制程尾气处理设备中洗涤塔焊接的工装
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201921040548.3
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-07-04
授权号 ：
CN210451535U
授权日 ：
2020-05-05
发明人 ：
项健揣士敬孟令二胡余祥李克成沈阳孙立军张丹
申请人 ：
合肥亚笙半导体设备科技有限公司
申请人地址 ：
安徽省合肥市蜀山区高新区创新大道106号明珠产业园3#厂房1层A区
代理机构 ：
合肥兆信知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
胡慧
优先权 ：
CN201921040548.3
主分类号 ：
B23K37/04
IPC分类号 ：
B23K37/04
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B23
机床；其他类目中不包括的金属加工
B23K
钎焊或脱焊；焊接；用钎焊或焊接方法包覆或镀敷；局部加热切割，如火焰切割；用激光束加工
B23K37/00
非专门适用于仅包括在本小类其他单一大组中的附属设备或工艺
B23K37/04
用于工件的固定或定位
法律状态
2020-05-05 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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