本实用新型属于半导体加工设备技术领域，尤其为一种1600片超大载片量石英舟，针对现有大产能石英舟制造工艺中制造困难，以及成品率低带来的成本偏高的问题，现提出如下方案，其包括左侧板和右侧板，左侧板与右侧板相互远离的一侧均焊接有多个机械手提手，左侧板与右侧板相互靠近的一侧底部焊接有同一个底部加强杆，底部加强杆的外侧固定套设有多个中隔支撑板，中隔支撑板的一侧顶部焊接有上槽棒，且多个中隔支撑板的一侧底部焊接有同一个下槽棒。本实用新型设计合理，适用于机械手上下料及自动化上片，使得在现有石英舟制作工艺水平下，超大载片量的机用石英舟更容易保证强度，以提高成品率，降低使用及维护成本。