一种高增益带宽积的光探测器
授权
摘要
本实用新型公开了一种高增益带宽积的光探测器,涉及光探测器技术领域,包括以下步骤:衬底、波半导体光放大器TWSOA和波导雪崩光电二极管WGAPD。所述TWSOA和WGAPD沿入射光方向间隔设置在所述衬底上。所述WGAPD与TWSOA一一对齐的设有下列层:缓冲层、第一渐变层、有源层、第二渐变层、第一功能层、第二功能层、扩散控制层和顶层。本实用新型的光探测器的增益带宽积能够达到1000GHz。
基本信息
专利标题 :
一种高增益带宽积的光探测器
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN201921075901.1
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2019-07-09
授权号 :
CN210006751U
授权日 :
2020-01-31
发明人 :
曾磊王肇中
申请人 :
武汉光谷量子技术有限公司
申请人地址 :
湖北省武汉市东湖新技术开发区高新大道999号C1-901室
代理机构 :
武汉智权专利代理事务所(特殊普通合伙)
代理人 :
董婕
优先权 :
CN201921075901.1
主分类号 :
H01L31/18
IPC分类号 :
H01L31/18 H01L31/0232 H01L31/0304 H01L31/0352 H01L31/107
法律状态
2020-01-31 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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