一种TFT减薄蚀刻前上料防呆装置
授权
摘要
本实用新型提供一种TFT减薄蚀刻前上料防呆装置。所述TFT减薄蚀刻前上料防呆装置包括定位支架；推车，所述推车滑动连接所述定位支架的内部；固定机构，所述固定机构安装于所述推车的内部，所述固定机构包括支撑板、储存箱、固定条和凸块，所述推车的顶面等距安装多个所述支撑板，所述支撑板的内部卡合所述储存箱；所述储存箱的内部底面等距安装截面积为半圆形的所述固定条，且所述固定条的顶面等距安装多个侧壁为弧形所述凸块，且位于同一根所述固定条上的所述凸块的直径沿着所述固定条的一端向着所述固定条的另一端依次递增。本实用新型提供的TFT减薄蚀刻前上料防呆装置方便取出薄膜晶体管。
基本信息
专利标题 ：
一种TFT减薄蚀刻前上料防呆装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201921101747.0
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-07-15
授权号 ：
CN210443536U
授权日 ：
2020-05-01
发明人 ：
陈江平
申请人 ：
黄石惠晶显示科技有限公司
申请人地址 ：
湖北省黄石市经济技术开发区金山大道东388号华创科技园
代理机构 ：
上海精晟知识产权代理有限公司
代理人 ：
安曼
优先权 ：
CN201921101747.0
主分类号 ：
H01L21/677
IPC分类号 ：
H01L21/677
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/67
专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21/677
用于传送的，例如在不同的工作站之间
法律状态
2020-05-01 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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