吸附机构及旋转分选装置
授权
摘要
本实用新型提供了一种吸附机构及旋转分选装置，安装在具有驱动机构和配气机构的作业台上，包括用于固定连接在作业台上的吸附导向支架和与吸附导向支架滑动连接的吸附导向杆，吸附导向支架具有供吸附导向杆穿透的穿透孔；吸附导向杆与吸附导向支架之间设置有用于引导二者移动的导向筒，导向筒的外侧壁上凹陷形成有限制槽，吸附导向支架上设置有与限制槽配合限位，以在导向筒轴向上限制导向筒于一设定移动区间内移动的限制部件。本实用新型提供的吸附机构及旋转分选装置，提高吸附导向杆上下移动的精准度，同时简化了吸附机构的结构，组装更为方便，降低了维修成本。
基本信息
专利标题 ：
吸附机构及旋转分选装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201921138279.4
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-07-19
授权号 ：
CN210379008U
授权日 ：
2020-04-21
发明人 ：
范聚吉陈林山卓维煌
申请人 ：
深圳市深科达半导体科技有限公司
申请人地址 ：
广东省深圳市宝安区福永街道征程二路2号B栋第二层
代理机构 ：
深圳中一联合知识产权代理有限公司
代理人 ：
袁哲
优先权 ：
CN201921138279.4
主分类号 ：
H01L21/683
IPC分类号 ：
H01L21/683 H01L21/67
相关图片
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/67
专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21/683
用于支承或夹紧的
法律状态
2020-04-21 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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