晶片分选搬运机构装置

专利权的终止

摘要

晶片分选搬运机构装置，由机械手、步进电机、同步轮、机械手臂、高精度滑块、连接块A、连接块B、直线轴承、连接支架、外侧板、负压吸头构成，步进电机驱动同步轮，机械手臂装在同步轮轴上，机械手臂轴承固定在连接块A上，连接块A与高精度滑块的前端和固定机械手的连接支架相连，连接块A在高精度滑块的坚直轨道上滑动，高精度滑块的后端固定在连接块B上，连接块B在直线轴承上滑动，直线轴承固定在外侧板上。步进电机驱动同步轮，机械手臂装在同步轮轴上的机械手臂绕轴180度转动，带动高精度滑块上下运动、连接块B在直线轴承上左右运动，同时机械手就相应地做180度的圆弧运动吸取或放下晶片。

基本信息

专利标题：

晶片分选搬运机构装置

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN200720130899.4

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2007-12-12

授权号：

CN201185186Y

授权日：

2009-01-21

发明人：

钟丹秋徐华军谢金才孙迎春

申请人：

南京熊猫仪器仪表有限公司

申请人地址：

210002江苏省南京市中山东路301号

代理机构：

南京天翼专利代理有限责任公司

代理人：

汤志武

优先权：

CN200720130899.4

主分类号：

H01L21/677

IPC分类号：

H01L21/677