一种蒸发源挡板
授权
摘要
本实用新型涉及高真空设备技术领域，特别涉及一种蒸发源挡板。所述一种蒸发源挡板，包括：载台、挡板、磁场检测器、磁感应开关和金属片；挡板包括：第一挡板部、第二挡板部和第三挡板部；第二挡板部内凹用于遮盖蒸发源开口；第一挡板部与载台相向设置，第三挡板部与载台相向设置；金属片分别设置于第一挡板部与载台相对应的下端、及第三挡板部与载台相对应的下端；磁感应开关设置于载台上；金属片与磁感应开关相向设置；磁场检测器分别设置于金属片两侧，磁场检测器与磁感应开关相向设置。通过该装置，磁场检测器可通过检测每次传送的磁场是否相同，若不同，则说明挡板发生形变而偏移，则会发出警报，告知工作人员发生异常。
基本信息
专利标题 ：
一种蒸发源挡板
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201921168227.1
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-07-24
授权号 ：
CN210596240U
授权日 ：
2020-05-22
发明人 ：
黄逸臻孙玉俊
申请人 ：
福建华佳彩有限公司
申请人地址 ：
福建省莆田市涵江区涵中西路1号
代理机构 ：
福州市景弘专利代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
魏小霞
优先权 ：
CN201921168227.1
主分类号 ：
C23C14/24
IPC分类号 ：
C23C14/24 H01L51/56 C23C14/12
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/22
以镀覆工艺为特征的
C23C14/24
真空蒸发
法律状态
2020-05-22 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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