电子束蒸发真空镀膜机均匀性挡板修正条
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摘要

本实用新型公开了电子束蒸发真空镀膜机均匀性挡板修正条,属于电子束蒸发真空镀膜机技术领域。电子束蒸发真空镀膜机均匀性挡板修正条,包括挡板主体和修正条主体,所述修正条主体的外壁开凿有滑槽,所述挡板主体上开凿有与滑槽相对应的第二凹孔,所述第二凹孔与滑槽内连接有第一固定螺栓,所述第一固定螺栓上连接有固定螺母,所述挡板主体的底部还连接有横杆,所述横杆的外壁连接有竖杆,所述竖杆与横杆之间连接有支撑杆,所述竖杆的外壁还滑动连接有固定块;本实用新型在均匀性挡板未能合理遮蔽某个伞位的蒸发厚度时,可灵活调节修正条移动,达到遮蔽某个伞位的膜层厚度的目的,使之均匀性误差更加缩小,增加变化的稳定性。

基本信息
专利标题 :
电子束蒸发真空镀膜机均匀性挡板修正条
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN201921552357.5
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2019-09-18
授权号 :
CN210796607U
授权日 :
2020-06-19
发明人 :
张云生
申请人 :
深圳市乐苏科技有限公司
申请人地址 :
广东省深圳市宝安区石岩街道水田社区三民工业园厂房A栋四层
代理机构 :
深圳科湾知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 :
钟斌
优先权 :
CN201921552357.5
主分类号 :
C23C14/30
IPC分类号 :
C23C14/30  C23C14/54  
相关图片
IPC结构图谱
C
C部——化学;冶金
C23
对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/22
以镀覆工艺为特征的
C23C14/24
真空蒸发
C23C14/28
波能法或粒子辐射法
C23C14/30
电子轰击法
法律状态
2020-06-19 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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