一种电子束蒸发台源梭子挡板装置
授权
摘要
本实用新型公开了一种电子束蒸发台源梭子挡板装置，属于梭子挡板装置技术领域，包括梭子挡板，所述梭子挡板为水滴垂截面结构，且在所述梭子挡板的小直径端一侧设有连接轴，所述连接轴上开设有十字形凹槽，通过水滴型的垂截面结构使其可以具有良好的格挡功能，并采用连接轴上开设有十字形凹槽可以拆卸方便，在梭子挡板一侧沿梭子挡板边线至梭子挡板大直径一端分别设有第一外弧形挡板和第二外弧形挡板可以起到放置反射飞溅出去的金属源跑出的功能，从而高效的实现了遮挡功能。
基本信息
专利标题 ：
一种电子束蒸发台源梭子挡板装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202121895572.2
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2021-08-13
授权号 ：
CN216514091U
授权日 ：
2022-05-13
发明人 ：
马溢华赵志强
申请人 ：
无锡芯谱半导体科技有限公司
申请人地址 ：
江苏省无锡市会西路30-34(无锡光电新材料科技园内)
代理机构 ：
北京中政联科专利代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
何磊
优先权 ：
CN202121895572.2
主分类号 ：
C23C14/30
IPC分类号 ：
C23C14/30
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/22
以镀覆工艺为特征的
C23C14/24
真空蒸发
C23C14/28
波能法或粒子辐射法
C23C14/30
电子轰击法
法律状态
2022-05-13 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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