一种离子源挡板
授权
摘要
本实用新型公开了一种离子源挡板，包括底板，底板上方设有不锈钢板，不锈钢板中部为空腔且两侧沿不锈钢板高度开设有滑道，滑道内插设有挡板，不锈钢板的一侧固接有连接块，连接块的下端伸入底板一侧贯穿的通槽内，通槽沿底板长度方向开设，连接块的下端一侧插接有穿过底板侧壁的旋转轴，旋转轴与气动阀机械连接。本实用新型可阻止离子源受到靶材的污染，提高生产效率和保证产品质量。
基本信息
专利标题 ：
一种离子源挡板
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201922430509.0
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-12-29
授权号 ：
CN211713187U
授权日 ：
2020-10-20
发明人 ：
安建昊唐欢欢
申请人 ：
江苏普拉斯玛机械有限公司
申请人地址 ：
江苏省扬州市广陵区广陵产业园沙湾南路17号
代理机构 ：
代理人 ：
优先权 ：
CN201922430509.0
主分类号 ：
C23C14/02
IPC分类号 ：
C23C14/02
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/02
待镀材料的预处理
法律状态
2020-10-20 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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