一种高通量电子束组合材料蒸发系统

授权

摘要

本实用新型涉及真空镀膜系统领域，公开了一种高通量电子束组合材料蒸发系统。该高通量电子束组合材料蒸发系统包括：真空腔体，所述真空腔体设置为真空；电子束蒸发装置，设置于所述真空腔体下部；基片托架，设置于所述真空腔体上部，用于放置基片；连续掩膜装置和/或分立掩膜装置，设置于所述真空腔体上部，位于所述基片托架和所述电子束蒸发装置之间。本实用新型的高通量电子束组合材料蒸发系统，实现了高通量材料样品的制备，大大提高了组合材料样品的制备效率。

基本信息

专利标题：

一种高通量电子束组合材料蒸发系统

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN201921276030.X

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2019-08-07

授权号：

CN210287496U

授权日：

2020-04-10

发明人：

余应明郭鸿杰鲁森钱

申请人：

宁波星河材料科技有限公司

申请人地址：

浙江省宁波市宁波高新区宁波新材料创新中心东区1幢1号10-4-1

代理机构：

上海一平知识产权代理有限公司

代理人：

徐迅

优先权：

CN201921276030.X

主分类号：

C23C14/30

IPC分类号：

C23C14/30 C23C14/04 C23C14/50 C23C14/54