电子束热蒸发制备锂镧钛氧薄膜的方法
专利权的终止
摘要
本发明属锂离子薄膜电池技术领域，具体为一种锂离子薄膜电池的固态电解质锂镧钛氧薄膜(LLTO)的制备方法。本发明采用电子束热蒸发沉积法制备锂镧钛氧薄膜，其特点是薄膜的沉积面积大，沉积速率高，其锂离子的离子导电率可达2×10－7S/cm。结合射频磁控溅射制备的LiCoO2或LiMn2O4阴极薄膜，射频磁控溅射制备的锂磷氧氮(LiPON)保护层薄膜与真空热蒸发制备的金属锂阳极薄膜，组装成全固态薄膜锂电池。电池的比容量为45mAh/cm2－μm和24mAh/cm2－μm，循环次数可达150次。这些结果表明：电子束热蒸发方法制备LLTO固态电解质薄膜，能应用于全固态薄膜锂电池。
基本信息
专利标题 ：
电子束热蒸发制备锂镧钛氧薄膜的方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN1789483A
申请号 ：
CN200510112198.3
公开（公告）日 ：
2006-06-21
申请日 ：
2005-12-29
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
李驰麟傅正文
申请人 ：
复旦大学
申请人地址 ：
200433上海市邯郸路220号
代理机构 ：
上海正旦专利代理有限公司
代理人 ：
陆飞
优先权 ：
CN200510112198.3
主分类号 ：
C23C14/30
IPC分类号 ：
C23C14/30 C23C14/54
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/22
以镀覆工艺为特征的
C23C14/24
真空蒸发
C23C14/28
波能法或粒子辐射法
C23C14/30
电子轰击法
法律状态
2012-03-14 ：
专利权的终止
未缴年费专利权终止号牌文件类型代码 : 1605
号牌文件序号 : 101197542678
IPC(主分类) : C23C 14/30
专利号 : ZL2005101121983
申请日 : 20051229
授权公告日 : 20081001
终止日期 : 20101229
号牌文件序号 : 101197542678
IPC(主分类) : C23C 14/30
专利号 : ZL2005101121983
申请日 : 20051229
授权公告日 : 20081001
终止日期 : 20101229
2008-10-01 ：
授权
2006-12-06 ：
实质审查的生效
2006-06-21 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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