一种镧锶锰氧/掺铝氧化锌柔性薄膜异质结及其制备方法
实质审查的生效
摘要

本发明提供了一种镧锶锰氧/掺铝氧化锌柔性薄膜异质结,包括柔性衬底以及至少一层依次铺覆于柔性衬底上的自支撑镧锶锰氧薄膜和自支撑掺铝氧化锌薄膜;或者,包括柔性衬底以及至少一层依次铺覆于柔性衬底上的自支撑掺铝氧化锌薄膜和自支撑镧锶锰氧薄膜。不仅解决前述背景技术中提到的垂直氧化物异质结制备过程中薄膜难于直接生长和转移以及与柔性衬底兼容差等问题,还最大程度避免了直接按顺序外延生长不同薄膜时不同薄膜间晶格失配的问题,对不同材料之间的晶格参数匹配度不做过高要求,提高了柔性薄膜异质结的质量。

基本信息
专利标题 :
一种镧锶锰氧/掺铝氧化锌柔性薄膜异质结及其制备方法
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN114551582A
申请号 :
CN202210094785.8
公开(公告)日 :
2022-05-27
申请日 :
2022-01-26
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
金克新尹航
申请人 :
西北工业大学
申请人地址 :
陕西省西安市友谊西路127号
代理机构 :
西北工业大学专利中心
代理人 :
屠沛
优先权 :
CN202210094785.8
主分类号 :
H01L29/267
IPC分类号 :
H01L29/267  H01L31/0336  H01L43/10  C23C14/08  C23C14/35  C23C14/28  
法律状态
2022-06-14 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : H01L 29/267
申请日 : 20220126
2022-05-27 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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