一种电子束蒸发台加热器装置

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摘要

本实用新型属于电子束蒸发法技术领域，尤其是一种电子束蒸发台加热器装置，包括电子束蒸发台，所述电子束蒸发台的一侧开设有安装槽，且安装槽内卡装有安装板，所述安装板的两侧均固定安装有固定板，所述固定板上开设有对称设置的两个固定槽，所述电子束蒸发台的一侧固定安装有两个对称设置的固定座，所述固定板的一侧贴合有对称设置的两个转动块，且转动块和相对应的固定槽相适配，所述转动块的两侧均固定安装有条形板；本实用新型操作方便，只需要简单的几个操作步骤便可以将电子加速器拆下，大大方便了维修人员对电子加速器的维修，提高了电子加速器拆卸效率，简化了电子加速器的拆卸步骤，具有较强的实用性。

基本信息

专利标题：

一种电子束蒸发台加热器装置

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN202021011687.6

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2020-06-04

授权号：

CN212388103U

授权日：

2021-01-22

发明人：

马溢华

申请人：

无锡芯谱半导体科技有限公司

申请人地址：

江苏省无锡市会西路30-34(无锡光电新材料科技园内)

代理机构：

北京中政联科专利代理事务所(普通合伙)

代理人：

韩璐

优先权：

CN202021011687.6

主分类号：

C23C14/30

IPC分类号：

C23C14/30