一种E-Beam电子束蒸发镀膜装置
授权
摘要
本实用新型公开了一种E‑Beam电子束蒸发镀膜装置,涉及到电子束蒸镀技术领域,包括真空箱,真空箱的内腔底部固定连接有定位组件,真空箱的内腔顶部固定连接有位于定位组件正上方的基板支架,定位组件包括托板、转盘和驱动箱,托板的外侧壁开设有多个呈环形阵列分布的限位滑槽,限位滑槽的内腔活动插接有与限位滑槽相适配的限位滑杆,限位滑杆的一端固定连接有弧形夹板。本实用新型通过在托板的外侧壁开设有多个呈环形阵列分布的限位滑槽,限位滑杆的一端固定连接有弧形夹板,因此限位滑杆在限位滑槽的内腔滑动时能够带动弧形夹板移动,从而确保多个弧形夹板能够对放置在托板上表面的坩埚进行夹紧定位。
基本信息
专利标题 :
一种E-Beam电子束蒸发镀膜装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202122474849.0
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2021-10-14
授权号 :
CN216427394U
授权日 :
2022-05-03
发明人 :
任强朱丰张琦郑杨
申请人 :
浙江芯动科技有限公司
申请人地址 :
浙江省嘉兴市南湖区亚中路551号2号楼1层101室
代理机构 :
嘉兴启帆专利代理事务所(普通合伙)
代理人 :
熊亮亮
优先权 :
CN202122474849.0
主分类号 :
C23C14/30
IPC分类号 :
C23C14/30
IPC结构图谱
C
C部——化学;冶金
C23
对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/22
以镀覆工艺为特征的
C23C14/24
真空蒸发
C23C14/28
波能法或粒子辐射法
C23C14/30
电子轰击法
法律状态
2022-05-03 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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