一种节能稳定运行的电子束箱式蒸发镀膜机
授权
摘要
本实用新型公开了一种节能稳定运行的电子束箱式蒸发镀膜机，包括镀膜机本体和底座，镀膜机本体固定安装在底座顶端开设的安装槽的内部，镀膜机本体的底端通过若干个缓冲机构与安装槽的底端内壁固定连接，底座的底端固定安装有万向轮，底座的四个边角均固定安装有支撑机构，镀膜机本体包括外壳和内壳，外壳与内壳之间形成真空腔，本实用新型一种节能稳定运行的电子束箱式蒸发镀膜机，通过设置的缓冲机构可以减少镀膜机工作过程中产生的振动，从而提高了镀膜机运行时的稳定性；通过设置的真空腔和隔热层可以提高该镀膜机的隔热性能，通过设置的温控仪便于自动控制镀膜机本体内部的电子束枪工作，从而减少能源的浪费。
基本信息
专利标题 ：
一种节能稳定运行的电子束箱式蒸发镀膜机
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201921078687.5
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-07-11
授权号 ：
CN210287495U
授权日 ：
2020-04-10
发明人 ：
张硕堂
申请人 ：
安徽嘉硕真空科技有限公司
申请人地址 ：
安徽省合肥市肥西县桃花镇长安工业园区玉兰大道与城西湖路交口向西50米
代理机构 ：
代理人 ：
优先权 ：
CN201921078687.5
主分类号 ：
C23C14/30
IPC分类号 ：
C23C14/30 C23C14/54
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/22
以镀覆工艺为特征的
C23C14/24
真空蒸发
C23C14/28
波能法或粒子辐射法
C23C14/30
电子轰击法
法律状态
2020-04-10 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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