一种电子枪蒸发镀膜机
授权
摘要
本实用新型公开一种电子枪蒸发镀膜机，该新型电子枪蒸发镀膜机包括转台，蒸发组件，磁极和真空泵，蒸发组件与转台固定连接，转台与基座可转动连接，转台上竖直设有靶体，所述基座上设有电极，电极的两侧设有磁极，基座的一侧设有总开关与控制开关，转台、磁极与电极设在壳体内，壳体在总开关的一侧设有真空泵，壳体上设有气压阀，壳体的顶部设有冷却喷头；该新型电子枪蒸发镀膜机镀膜冷却效率高，壳体内真空气压可调，且转台自动旋转增大蒸发镀膜效率，使用简单方便。
基本信息
专利标题 ：
一种电子枪蒸发镀膜机
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201921084499.3
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-07-11
授权号 ：
CN210886194U
授权日 ：
2020-06-30
发明人 ：
常洪兴徐胜
申请人 ：
杰莱特（苏州）精密仪器有限公司
申请人地址 ：
江苏省苏州市张家港市张家港经济技术开发区福新路2号
代理机构 ：
代理人 ：
优先权 ：
CN201921084499.3
主分类号 ：
C23C14/30
IPC分类号 ：
C23C14/30 C23C14/56
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/22
以镀覆工艺为特征的
C23C14/24
真空蒸发
C23C14/28
波能法或粒子辐射法
C23C14/30
电子轰击法
法律状态
2020-06-30 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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