一种大型蒸发镀膜机的腔体
授权
摘要
本实用新型涉及一种大型蒸发镀膜机的腔体，包括腔本体、腔体门，所述腔本体一侧开口，所述腔体门安装在腔本体的开口处，所述腔本体与腔体门的外壁上设置有具有冷却功能的冷却系统；所述腔本体的顶板上设置有一个第一法兰；所述腔本体的侧壁上设置有用于安装高真空获得装置和简易挡板阀的第二法兰；所述腔本体的侧壁上还设置有第三法兰；所述腔体门的侧壁上设置有三个观察视窗；所述冷却系统包括布满腔本体与腔体门的外壁的冷却水道。本实用新型通过在腔体的外侧壁上布置冷却水道，使用冷却水经过冷却水道与腔体壁接触实现换热，将腔体内因蒸镀产生的大量的热带出，可以有效降低腔体的温度。
基本信息
专利标题 ：
一种大型蒸发镀膜机的腔体
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201922155466.X
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-12-03
授权号 ：
CN211227309U
授权日 ：
2020-08-11
发明人 ：
郭爱云朱选敏
申请人 ：
武汉科瑞达真空科技有限公司
申请人地址 ：
湖北省武汉市东湖高新技术开发区高新大道666号武汉国家生物产业基地项目B、C、D区研发楼B1栋
代理机构 ：
武汉蓝宝石专利代理事务所(特殊普通合伙)
代理人 ：
谢洋
优先权 ：
CN201922155466.X
主分类号 ：
C23C14/30
IPC分类号 ：
C23C14/30
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/22
以镀覆工艺为特征的
C23C14/24
真空蒸发
C23C14/28
波能法或粒子辐射法
C23C14/30
电子轰击法
法律状态
2020-08-11 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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