一种镀膜机的蒸发源盖板
授权
摘要
本实用新型涉及一种镀膜机的蒸发源盖板，属于镀膜机技术领域。盖板包括平板、承载件和衬套，平板一侧设置有矩形槽，矩形槽内设置有承载件，承载件内设置有衬套，衬套一侧设置有开口。本实用新型结构简单，操作方便，有效的解决膜料污染和膜料卡坩埚的问题，同时降低了成本。
基本信息
专利标题 ：
一种镀膜机的蒸发源盖板
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202122426692.4
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2021-10-09
授权号 ：
CN216192660U
授权日 ：
2022-04-05
发明人 ：
殷方军崔庆尚苏建于传帅司劲男
申请人 ：
山东华光光电子股份有限公司
申请人地址 ：
山东省济南市历下区高新区天辰大街1835号
代理机构 ：
济南金迪知识产权代理有限公司
代理人 ：
赵龙群
优先权 ：
CN202122426692.4
主分类号 ：
C23C14/24
IPC分类号 ：
C23C14/24
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/22
以镀覆工艺为特征的
C23C14/24
真空蒸发
法律状态
2022-04-05 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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