一种箱式真空镀膜机
授权
摘要
本实用新型公开了一种箱式真空镀膜机包括支架、组合箱、油扩散泵和机械泵，所述支架顶部固定连接镀膜腔，所述机械泵输出端固定连接导管，所述导管输出端固定连接组合箱，所述组合箱左侧设有予抽蝶阀，所述组合箱右侧底部固定连接储气罐。本实用新型通过进气口处的气体分子便进入一号泵内，并且自上而下的作定向流动，经过排气口进入到储气罐内内压缩储存，此后被机械泵抽走，油蒸汽遇到水冷后被冷凝凝结，回入到一号泵底部的油槽，重新被加热，如此循环工作，镀膜腔是一个整体真空室，蒸发器通过由蒸发电极和蒸发源组成，蒸发源由钨丝绕成螺旋形状，蒸发源上面的蒸发挡板可以挡住一些奔向镀件的杂质蒸汽分子。
基本信息
专利标题 ：
一种箱式真空镀膜机
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201922367512.2
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-12-25
授权号 ：
CN212270219U
授权日 ：
2021-01-01
发明人 ：
张曹瑜李品吕光
申请人 ：
苏州希贤光电有限公司
申请人地址 ：
江苏省苏州市吴中经济开发区郭巷街道九盛路333号2幢
代理机构 ：
苏州翔远专利代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
胡涛
优先权 ：
CN201922367512.2
主分类号 ：
C23C14/24
IPC分类号 ：
C23C14/24 C23C14/56
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/22
以镀覆工艺为特征的
C23C14/24
真空蒸发
法律状态
2021-01-01 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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