一种光栅尺检测装置
授权
摘要
本实用新型公开了一种光栅尺检测装置，包括水平导轨以及气浮滑块；水平导轨的左侧壁面上设置有第一标尺光栅，气浮滑块上设置有第一光栅读数头；水平导轨的右侧壁面上设置有第二标尺光栅，气浮滑块上设置有第二光栅读数头；水平导轨的前端设置有升降平台，升降平台上设置有激光干涉仪，激光干涉仪的反光镜设置在气浮滑块上；水平导轨的上部右侧设置有若干沿前后方向分布的用于夹紧待检测光栅尺的标尺光栅的夹紧机构。本申请光栅尺检测装置中通过采用第二标尺光栅与第二光栅读数头组成的第二光栅位移传感器以及激光干涉仪作为检测待检测光栅尺的测量标准，进而能够检测待测光栅尺的精度和误差。
基本信息
专利标题 ：
一种光栅尺检测装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201921212987.8
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-07-30
授权号 ：
CN210036600U
授权日 ：
2020-02-07
发明人 ：
王曰明李明富梁邦远王世雷孙佳卓
申请人 ：
青岛前哨精密仪器有限公司
申请人地址 ：
山东省青岛市高新区锦暄路61号
代理机构 ：
北京和信华成知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
张晓
优先权 ：
CN201921212987.8
主分类号 ：
G01B11/02
IPC分类号 ：
G01B11/02
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01B
长度、厚度或类似线性尺寸的计量；角度的计量；面积的计量；不规则的表面或轮廓的计量
G01B11/00
以采用光学方法为特征的计量设备
G01B11/02
用于计量长度、宽度或厚度
法律状态
2020-02-07 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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