检测系统及光栅尺
授权
摘要
本实用新型公开了一种检测系统及光栅尺，其中，检测系统包括：光源模块，用于提供检测光束；分光模块，用于接收所述检测光束并进行分光处理以生成若干第一光束和若干第二光束；参考光栅模块，用于对所述第一光束进行调制并生成参考光；检测光栅模块，用于对所述第二光束进行调制并生成检测光；测量模块，用于对由所述参考光、所述检测光发生干涉所产生的相干光进行检测处理得到相干信息；根据所述相干信息得到检测光栅模块的位移变化量。该检测系统结构简单，受环境影响较小，能够实现高精度测量。
基本信息
专利标题 ：
检测系统及光栅尺
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202021708709.4
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-08-14
授权号 ：
CN212747682U
授权日 ：
2021-03-19
发明人 ：
李星辉余康宁周倩吴冠豪倪凯王晓浩
申请人 ：
清华大学深圳国际研究生院
申请人地址 ：
广东省深圳市南山区西丽大学城清华校区
代理机构 ：
广州嘉权专利商标事务所有限公司
代理人 ：
黄广龙
优先权 ：
CN202021708709.4
主分类号 ：
G01B11/02
IPC分类号 ：
G01B11/02
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01B
长度、厚度或类似线性尺寸的计量；角度的计量；面积的计量；不规则的表面或轮廓的计量
G01B11/00
以采用光学方法为特征的计量设备
G01B11/02
用于计量长度、宽度或厚度
法律状态
2021-03-19 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
暂无PDF文件可下载
