光栅尺动态误差的检测系统

授权

摘要

本实用新型公开了光栅尺动态误差的检测系统，包括第一装置，用于获取待测光栅尺的实时位置；第二装置，用于确定待测光栅尺的基准位置；信号采集控制器，将第一装置及第二装置获取的位置信号发送至计算机；计算机对接收到的位置信号进行比较，确定光栅尺的动态误差。该检测系统采用激光干涉作为长度基准，通过伺服直线电机实现光栅尺不同运行工况的模拟，设计了基于FPGA的双路信号采集处理系统，实现基准信号和实时信号的同步采集，通过数据存储和后续传输处理，对测量结果进行分析显示。

基本信息

专利标题：

光栅尺动态误差的检测系统

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN202021343321.9

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2020-07-09

授权号：

CN212300247U

授权日：

2021-01-05

发明人：

徐全坤黄振宇阚侃张向谭翠媚罗旭东

申请人：

广东省计量科学研究院（华南国家计量测试中心）

申请人地址：

广东省广州市白云区广园中路松柏东街30号

代理机构：

北京商专润文专利代理事务所(普通合伙)

代理人：

许春兰

优先权：

CN202021343321.9

主分类号：

G01B11/00

IPC分类号：

G01B11/00