一种高灵敏宽量程电容式力传感器
授权
摘要
本实用新型公开一种高灵敏宽量程电容式力传感器，属于传感器领域。所述高灵敏宽量程电容式力传感器包括相键合的硅衬底和玻璃衬板，所述硅衬底的第一端通过介质连接有上层硅薄膜；所述上层硅薄膜的表面依次形成有第一硼硅膜和第一膜上电极；所述硅衬底的第二端形成有下层硅悬臂梁，所述硅衬底的第二端和所述下层硅悬臂梁的上表面覆盖有第二硼硅膜；所述第二硼硅膜的表面依次形成有第二硼硅膜和第二膜上电极；所述高灵敏宽量程电容式力传感器还包括衬底电极，位于所述玻璃衬板的顶表面。
基本信息
专利标题 ：
一种高灵敏宽量程电容式力传感器
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201921224977.6
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-07-31
授权号 ：
CN210037029U
授权日 ：
2020-02-07
发明人 ：
王庆贺何威
申请人 ：
中国电子科技集团公司第五十八研究所
申请人地址 ：
江苏省无锡市滨湖区惠河路5号
代理机构 ：
无锡派尔特知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
杨立秋
优先权 ：
CN201921224977.6
主分类号 ：
G01L1/14
IPC分类号 ：
G01L1/14
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01L
测量力、应力、转矩、功、机械功率、机械效率或流体压力
G01L1/00
力或应力的一般计量
G01L1/14
通过测量电元件的电容量或电感量的变化，例如，测量电振荡器的频率变化
法律状态
2020-02-07 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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