多量程多灵敏度压力MEMS芯片
实质审查的生效
摘要
本发明提供一种多量程多灵敏度压力MEMS芯片，包括衬底，在所述衬底上设置有电容式传感器组件和压阻式传感器组件；其中，所述电容式传感器组件包括设置在所述衬底上的电容上极板和电容下极板，所述电容上极板和所述电容下极板之间形成有绝缘间隙；并且，所述压阻式传感器组件包括压阻单元，所述压阻单元设置在所述电容上极板或所述电容下极板上。本发明提供的多量程多灵敏度压力MEMS芯片既能够实现电容式小压力的测量，又能够实现压阻式大压力的测量。
基本信息
专利标题 ：
多量程多灵敏度压力MEMS芯片
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114323408A
申请号 ：
CN202111346507.9
公开（公告）日 ：
2022-04-12
申请日 ：
2021-11-15
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
朱恩成陈磊张强
申请人 ：
歌尔微电子股份有限公司
申请人地址 ：
山东省青岛市崂山区科苑纬一路1号青岛国际创新园二期F楼
代理机构 ：
北京鸿元知识产权代理有限公司
代理人 ：
袁文婷
优先权 ：
CN202111346507.9
主分类号 ：
G01L9/12
IPC分类号 ：
G01L9/12 G01L9/06 G01L19/00 B81B7/02
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01L
测量力、应力、转矩、功、机械功率、机械效率或流体压力
G01L9/00
用电或磁的压敏元件测量流体或流动固体材料的稳定或准稳定压力；用电或磁的方法传递或指示机械压敏元件的位移，该机械压敏元件是用来测量流体或流动固体材料的稳定或准稳定压力的
G01L9/12
利用电容量变化的
法律状态
2022-04-29 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : G01L 9/12
申请日 : 20211115
申请日 : 20211115
2022-04-12 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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