一种石英舟清洗装置
授权
摘要
本实用新型是一种石英舟清洗装置，结构包括PLC控制装置、执行机构、酸洗装置、水喷淋装置，所述PLC控制装置控制执行机构的定时开启与关闭，所述执行机构与水喷淋装置固定连接，所述水喷淋装置与酸洗装置固定连接，本实用新型通过PLC控制装置设定标准程序，严格控制酸洗、冲水清洗时间，改善了石英舟清洗的效果，避免了酸液反复使用造成的交叉污染，使得整个工艺过程更加标准化，提高了清洗质量。
基本信息
专利标题 ：
一种石英舟清洗装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201921229360.3
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-08-01
授权号 ：
CN210358301U
授权日 ：
2020-04-21
发明人 ：
鲁济伟马朝飞杨晓昕
申请人 ：
吉林瑞能半导体有限公司
申请人地址 ：
吉林省吉林市高新区深圳街99号
代理机构 ：
长春新发惠利知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
高佳佳
优先权 ：
CN201921229360.3
主分类号 ：
B08B3/02
IPC分类号 ：
B08B3/02 B08B3/08 B08B13/00 H01L21/673
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B08
清洁
B08B
一般清洁；一般污垢的防除
B08B3/00
使用液体或蒸气的清洁方法
B08B3/02
用喷射力来清洁
法律状态
2020-04-21 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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