检测与区分光滑表面和亚表面颗粒的激光偏振装置
授权
摘要
本实用新型公开了一种检测与区分光滑表面和亚表面颗粒的激光偏振装置。本实用新型利用椭球反射镜以大立体角收集并探测颗粒引发的散射光，将椭球反射镜收集盲区中的散射光引入偏振测量通道，获取只与散射源偏振特性相关的偏振特征，用来区分表面颗粒和亚表面颗粒。本实用新型仅需要单次扫描，就可以实现整个光滑表面的颗粒的有效检测和准确区分。本实用新型解决了传统激光散射技术无法识别散射源的难题，不仅能推动缺陷自动化检测系统的发展和应用，更为提高先进光学元件、半导体晶圆的超精密加工技术、提高工业生产产量等提供有力手段。
基本信息
专利标题 ：
检测与区分光滑表面和亚表面颗粒的激光偏振装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201921278808.0
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-08-08
授权号 ：
CN210894016U
授权日 ：
2020-06-30
发明人 ：
杨甬英曹频
申请人 ：
杭州晶耐科光电技术有限公司
申请人地址 ：
浙江省杭州市余杭区良渚街道沈港路10号506室
代理机构 ：
杭州君度专利代理事务所(特殊普通合伙)
代理人 ：
朱月芬
优先权 ：
CN201921278808.0
主分类号 ：
G01N15/00
IPC分类号 ：
G01N15/00 G01N21/21 G01N21/49
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01N
借助于测定材料的化学或物理性质来测试或分析材料
G01N15/00
测试颗粒的特性；测试多孔材料的渗透性，孔隙体积或者孔隙表面积
法律状态
2020-06-30 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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