一种基于塔姆等离子的平面近红外光电探测器
授权
摘要
本实用新型提供一种基于塔姆等离子的平面近红外光电探测器，包含二氧化硅基底、布拉格反射器和金属薄膜；布拉格反射器和金属薄膜依次设于二氧化硅基底上；布拉格反射器由高折射率薄膜层和低折射率薄膜层由上至下交替设置而成，布拉格反射器与金属薄膜的接触面为高折射率薄膜层且设置为二氧化钛；金属薄膜的顶部设有顶部导电电极，位于顶层的高折射率薄膜层的底部设有栅状底部导电电极。提高了光子吸收率、热电子的输运效率和光电探测器的响应度；并能够通过与金属薄膜相邻的二氧化钛的厚度调节可改变探测器的响应波长和实现多窄带的光电探测；且本实用新型结构简单，便于生产。
基本信息
专利标题 ：
一种基于塔姆等离子的平面近红外光电探测器
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201921298301.1
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-08-12
授权号 ：
CN209981234U
授权日 ：
2020-01-21
发明人 ：
刘鉴辉刘慧敏俞童吴绍龙张程李孝峰
申请人 ：
苏州大学
申请人地址 ：
江苏省苏州市相城区济学路8号
代理机构 ：
苏州智品专利代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
王利斌
优先权 ：
CN201921298301.1
主分类号 ：
H01L31/0232
IPC分类号 ：
H01L31/0232 H01L31/108
法律状态
2020-01-21 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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