一种螺旋形流体动压抛光垫
授权
摘要
本实用新型公开了一种螺旋形流体动压抛光垫及其抛光方法，改变传统球形工具和柱形工具的切点和切线抛光作用方式，将工具与工件之间的作用区域扩展到面接触方式，以提高抛光效率。本实用新型在抛光垫基体上的中心设置中心供液孔和中行储液区，在表面上设置螺旋形动压槽，且螺旋形动压槽均匀分布于抛光垫基体的表面上，在抛光加工过程中，将预先混合有抛光颗粒的抛光液以一压力从中心供液孔注入抛光垫与工件表面之间的液膜间隙中，同时抛光垫高速旋转，以增强液膜间隙内抛光液的动压效应，根据流体动力学理论，液膜间隙内流体动压力以及流体剪切力能够显著提高抛光液中颗粒冲蚀光学元件表面的效应，去除元件表面材料的，实现抛光的目的。
基本信息
专利标题 ：
一种螺旋形流体动压抛光垫
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201921334507.5
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-08-16
授权号 ：
CN210732094U
授权日 ：
2020-06-12
发明人 ：
林彬姜向敏曹中臣
申请人 ：
天津大学
申请人地址 ：
天津市津南区海河教育园雅观路135号天津大学北洋园校区
代理机构 ：
天津市北洋有限责任专利代理事务所
代理人 ：
王蒙蒙
优先权 ：
CN201921334507.5
主分类号 ：
B24B29/02
IPC分类号 ：
B24B29/02 B24B37/10 B24B37/26 B24B57/02 B24D11/00
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B24
磨削；抛光
B24B
用于磨削或抛光的机床、装置或工艺（用电蚀入B23H；磨料或有关喷射入B24C；电解浸蚀或电解抛光入C25F3/00；磨具磨损表面的修理或调节；磨削，抛光剂或研磨剂的进给
B24B29/00
有或没有使用固体或液体抛光剂并利用柔软材料或挠性材料制作的工具进行工件表面抛光的机床或装置
B24B29/02
适用于特殊工件的
法律状态
2020-06-12 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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