本实用新型为一种晶圆夹具的分节式导电片，适用于晶圆夹具，所述晶圆夹具具有夹具内盖，以夹持晶圆，包含：多个导电片，设于所述夹具内盖上并与所述晶圆电性连接，所述夹具内盖具有内面，所述内面凹设多个组设槽，各所述组设槽内分别固定一个所述导电片，所述夹具内盖为环型，各所述组设槽为弯弧型，且各所述导电片为弯弧片状。由于各所述导电片为分节式，不仅在制作上较圆环型更为容易，也能更容易地组设于所述夹具内盖中。更佳的是，晶圆夹具在长时间使用导致O‑ring老化变形，而让电镀液渗入晶圆夹具内造成金属不当附着于导电片时，能直接将附着金属的导电片换新，而能够继续使用的导电片则不进行更换，由此，降低整体更换材料的成本。