长运动行程推拉舟机构
专利权人的姓名或者名称、地址的变更
摘要
本实用新型公开了一种长运动行程推拉舟机构，其基本结构包括：机体；滑座；竖滑台；俯仰机构；悬臂；第一驱动装置；第二驱动装置；以及第三驱动装置。依据本实用新型的长运动行程推拉舟机构能够适应载荷，从而使例如石英舟的支撑相对水平。
基本信息
专利标题 ：
长运动行程推拉舟机构
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201921385312.3
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-08-26
授权号 ：
CN210379000U
授权日 ：
2020-04-21
发明人 ：
宋德鹏姜良斌
申请人 ：
济南力冠电子科技有限公司
申请人地址 ：
山东省济南市天桥区桑梓店镇舜兴路66号济南新材料产业科技园1号楼1层西区
代理机构 ：
山东众成清泰律师事务所
代理人 ：
丁修亭
优先权 ：
CN201921385312.3
主分类号 ：
H01L21/677
IPC分类号 ：
H01L21/677
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/67
专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21/677
用于传送的，例如在不同的工作站之间
法律状态
2020-08-14 ：
专利权人的姓名或者名称、地址的变更
IPC(主分类) : H01L 21/677
变更事项 : 专利权人
变更前 : 济南力冠电子科技有限公司
变更后 : 山东力冠微电子装备有限公司
变更事项 : 地址
变更前 : 250119 山东省济南市天桥区桑梓店镇舜兴路66号济南新材料产业科技园1号楼1层西区
变更后 : 250101 山东省济南市天桥区梓东大道8号中德产业园13号楼A区
变更事项 : 专利权人
变更前 : 济南力冠电子科技有限公司
变更后 : 山东力冠微电子装备有限公司
变更事项 : 地址
变更前 : 250119 山东省济南市天桥区桑梓店镇舜兴路66号济南新材料产业科技园1号楼1层西区
变更后 : 250101 山东省济南市天桥区梓东大道8号中德产业园13号楼A区
2020-04-21 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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